荏原冷熱システム株式会社
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製品紹介
チラー
新製品
RJ-CA型（自然冷媒チラー）
自然冷媒（CO
2
）を採用した半導体製造装置向けチラー
新製品
RJ-XA型（低GWP冷媒チラー）
グローバルな環境規制に対応した低GWP* 冷媒(R513A) を採用した半導体製造装置向けチラー
図面(CAD,PDF)及び
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