新製品温調装置チラー
RJ-XA型(低GWP冷媒チラー)
グローバルな環境規制に対応した低GWP* 冷媒(R513A) を採用した半導体製造装置向けチラーです。インバーター制御による消費電力の削減を図れます。
オプション仕様として、接液部に銅・真鍮素材を使用していない仕様も備えており、腐食によるリスクを低減できます。
- 低GWP冷媒R513A採用(GWP=629)
- 精密温度制御
- 省エネ
- 省スペース
- 銅・真鍮素材レス(オプション)
スペック
型式 | RJ-XA | ||
冷却能力(50Hz/60Hz) | kW | 3.7(10℃時)6.1(20℃時) | |
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温度制御範囲 | ℃ | 5~40 | |
温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 | |
外形寸法(W x D x H) | mm | 375 x 1050 x 1150 | |
質量 | kg | 160 (循環液、冷却水含まず) | |
循環液 | 使用流体 | 純水、エチレングリコール 他 | |
圧送ポンプ能力 | L/min | 12~32 (0.4MPa以上) | |
冷却水 | 温度範囲 | ℃ | 10~25 |
規格 | SEMI、CE、UL準拠 | ||
電源 | V | 三相 200 | |
運転制御方式 | インバータ制御方式 | ||
使用冷媒 | R513A(GWP:629) |
※仕様はご参考です