製品紹介
チラー

新製品温調装置チラー

RJ-XA型(低GWP冷媒チラー)

グローバルな環境規制に対応した低GWP* 冷媒(R513A) を採用した半導体製造装置向けチラーです。インバーター制御による消費電力の削減を図れます。
オプション仕様として、接液部に銅・真鍮素材を使用していない仕様も備えており、腐食によるリスクを低減できます。

  • 低GWP冷媒R513A採用(GWP=629)
  • 精密温度制御
  • 省エネ
  • 省スペース
  • 銅・真鍮素材レス(オプション)

スペック

型式   RJ-XA
冷却能力(50Hz/60Hz) kW 3.7(10℃時)6.1(20℃時)
温度制御範囲 5~40
温度制御精度 ± 0.1
外形寸法(W x D x H) mm 375 x 1050 x 1150
質量 kg 160 (循環液、冷却水含まず)
循環液 使用流体   純水、エチレングリコール 他
圧送ポンプ能力 L/min 12~32 (0.4MPa以上)
冷却水 温度範囲 10~25
規格 SEMI、CE、UL準拠
電源 V 三相 200
運転制御方式 インバータ制御方式
使用冷媒 R513A(GWP:629)

※仕様はご参考です

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