技術資料
温調装置
超小型キャンドモータポンプ（SSPD型）
精密チラーには循環液用ポンプとして、荏原製作所製の超小型キャンドモータポンプ（SSPD型）を採用しています。このポンプを採用することで、精密チラーの小型化を可能としています。
超小型キャンドモータポンプ（SSPD型）とは
荏原製作所は、2013年にキャンドモータポンプSSPD型を開発・市場投入しています。 本製品は、永久磁石型同期電動機（以下PMモータ）を採用することによって、超小型を実現しています。 近年になってその「超小型」「低熱容量」という特徴から、半導体製造用途として注目を浴び、出荷台数が大きく伸びています。
特徴
超小型
エンドトップ型ケーシングの採用や、PMモータの採用、かつ高速回転化することで超小型を実現
低熱容量
主軸を取り除いた構造にすることにより、従来品比較して熱容量を約1/10に低減
高効率
発熱損失、渦電流損失の低減や、動圧浮上型軸受の採用による軸受損失低減といった損失低減策を行い、効率を向上
キャンドモータのため軸シールがなく、無漏洩、無発塵であり、モータ冷却ファンがないため低騒音化を実現しています。
