荏原冷熱システム
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チラーについて

精密チラーとは?

精密チラーとは

チラーとは製造プロセスの冷却等に用いられる装置です。ここでご紹介するチラーは、主に半導体製造装置やFPD製造装置の冷却用に付帯設備として使用されます。スパッタリング、エッチング工程におけるステージの冷却などの温度コントロールに使用され、精度の高い温度安定性が求められます。
高度情報化社会が急激に進展する中、メモリの積層数の増加、加工精度の高精度化といった要求に対して半導体製造プロセスの高負荷化が進み、装置台数、装置一台あたりのチャンバ数、製造装置に付帯する機器の台数も増加しています。近年は、小型かつ高出力でスペースを効率的に利用可能なチラーの需要がますます高まっています。さらに、地球温暖化が進み、その対策としてフロンの規制が厳しくなる中、環境に優しい製品の要求も高まっています。
下記はそれぞれのチラーの特徴になります。

チラーの特長

  1. 小型、高出力、高精度
  2. 環境に優しい低GWP*冷媒
    (*Global Warming Potential(地球温暖化係数))
  3. ファンの無い水冷式

荏原のチラーの強み

小型・高精度かつ環境に配慮した半導体製造装置向けチラー

荏原のチラーは、小型・高出力・高精度を特長とし、さまざまな分野での使用を想定しています。荏原独自の小型ポンプを使用することで省フットプリントを実現しました。小型の設計ながら高出力で、限られたスペースでの柔軟なレイアウトができ、精密温度制御によるプロセス安定性の向上が可能です。
低GWP冷媒を使用しているので環境負荷が低く、万一の漏洩時リスクを軽減します。低温冷却による冷却時間の短縮により歩留まりの向上に貢献します。

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