新製品温調装置精密チラー
RJ-SA型
荏原独自の小型ポンプSSPD型を使用することで省フットプリントを実現。幅368mmの小型設計ながら冷却能力4.0kWの高出力で、限られたスペースでの柔軟なレイアウトが可能です。
低GWP冷媒R448A（GWP1386）を使用しているので環境負荷が低く、万一の漏洩時リスクを軽減します。±0.1℃の精密温度制御が可能であり、プロセス安定性の向上、及び歩留まりの向上に貢献します。
スペック
| 型式 | RJ-SA | ||
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | kW | 4.0（-10℃時） | |
|---|---|---|---|
| 温度制御範囲 | ℃ | -20~30 | |
| 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 | |
| 外形寸法（W x D x H） | ｍｍ | 368 x 947 x 1,097 | |
| 質量 | kg | 225（タンク空時） | |
| 恒温液 | 使用流体 | フッ素化液（PFC液） | |
| 圧送ポンプ能力 | L/min | 20（揚程25ｍ） | |
| 冷却水 | 温度範囲 | ℃ | 10～25 |
| 規格 | SEMI、CE、UL準拠 | ||
| 電源 | V | 三相 200 | |
| 運転制御方式 | 電子膨張弁容量制御 | ||
| 冷媒制御方式 | 冷却電子膨張弁、加熱電子膨張弁 | ||
| 使用冷媒 | R448A（GWP：1386） | ||
※仕様はご参考です
